Датчики тиску використовуються для вимірювання тиску рідин і газів. Поширені типи включають MEMS-кремнієві п’єзорезистивні датчики тиску, MEMS-кремнієві резонансні датчики тиску, керамічні ємнісні датчики тиску, металеві ємнісні датчики тиску, тонкоплівкові датчики з напиленням і металеві тензометричні датчики тиску. Сценарії їх роботи відрізняються в залежності від принципу роботи.
Кремнієвий п'єзорезистивний датчик тиску MEMS:Це найпоширеніший тип датчика тиску. Його основний діапазон вимірювань охоплює від 15 кПа до 100 МПа з типовою точністю в діапазоні від 0,05% FS до 3% FS. Діапазон робочих температур зазвичай становить від -55 градусів до 180 градусів. Оскільки він сумісний із-масштабними процесами виробництва напівпровідників, він недорогий. Для вимірювання рідини потрібна наповнена маслом ізоляційна упаковка.
Кремнієвий резонансний датчик тиску MEMS: Цей датчик використовує геніальну конструкцію, яка перетворює тиск у зміну резонансної частоти мікро-променя. Оскільки частота променя залежить лише від його структури та температури, а також отримує переваги від ефектів фільтрації, цей датчик досягає високої точності вихідного сигналу до 0,01% повної шкали. Основний діапазон вимірювання тиску охоплює від 100 кПа до 40 МПа з діапазоном робочих температур від -55 градусів до 85 градусів. Завдяки складному виробництву та високій вартості він підходить для додатків, що вимагають надзвичайно високої точності, таких як обробка напівпровідників і вимірювання глибин океану.
Керамічний ємнісний датчик тиску:Керамічний матеріал забезпечує чудову зносостійкість, що робить цей датчик придатним для вимірювання тиску в суміші піску та суспензії. Він також забезпечує хорошу стійкість до корозії, що дозволяє вимірювати корозійні рідини, такі як сірчана кислота. Крім того, датчики тиску на керамічній основі можуть витримувати замерзання води-, чого неможливо досягти з датчиками MEMS.
Металевий ємнісний датчик тиску:Цей датчик використовує металеву діафрагму як чутливий до тиску рухомий електрод, утворюючи конденсатор із нерухомим електродом. Коли тиск діє на діафрагму, ємність між електродами змінюється, встановлюючи співвідношення між тиском і ємністю. Металеві діафрагми можуть бути виготовлені з корозійностійких матеріалів, таких як інконель, і можуть вимірювати дуже низький тиск (0–1/10/100/1000 Торр). Отже, він має широке застосування у вимірюванні вакууму та спеціальному вимірюванні газу в напівпровідниковій промисловості.
РозпиленийTйого-фільмДатчик тиску та металевий тензодатчик Датчик тиску:Обидва датчики мають чутливий до сили матеріал, нанесений на велику металеву поверхню, що робить виріб міцним і довговічним. Вони підходять для діапазонів високого тиску та застосувань, що вимагають високої надійності, наприклад, для жовтих виробів, дизельних двигунів і тунелебурильних машин. Ці датчики нелегко виготовити в датчик абсолютного тиску, і зазвичай вони можуть охоплювати максимальні діапазони до 200 МПа або вище. На першому зображенні вище показано ядро датчика з напиленою тонкою -плівкою, а на другому зображено металеве ядро тензодатчика.
Вибір датчика тиску повинен базуватися на фактичних умовах експлуатації, щоб повністю використовувати його продуктивність. Mihui Technology спеціалізується на датчиках тиску, заснованих на різних принципах, пропонуючи повний дизайн, виробництво та виробничі можливості, щоб надати клієнтам найбільш прийнятні рішення. Ласкаво просимо до нас, якщо ви зацікавлені:Номер телефону: +8618066965135; Електронна адреса: mihuitec@gmail.com
