За принципом роботи датчики тиску можна розділити на кілька типів, зокрема керамічні ємнісні, металеві ємнісні, тонкоплівкові-тензометричні, тензометричні, кремнієві п’єзорезистивні, кремнієві ємнісні та кремнієві резонансні. Серед них резонансні датчики тиску пропонують найвищу точність, досягаючи точності до 0,01% повної шкали в повному діапазоні температур (-від 40 градусів до 85 градусів). Завдяки своїй винятковій точності вони широко використовуються в програмах, що вимагають надзвичайно високої точності тиску, наприклад, вимірювання глибини океану, еталонні стандарти тиску, вимірювання параметрів польоту літака та метеорологічний моніторинг. Причини, чому кремнієві резонансні датчики тиску досягають такого високоточного вимірювання тиску, наступні:
1. Основною структурою кремнієвого резонансного датчика тиску є симетричний кремнієвий резонатор із подвійним-затисканням. Резонансна частота резонатора змінюється залежно від прикладеного тиску. Оскільки частота є внутрішньою властивістю твердих тіл, вона менш сприйнятлива до -низькочастотного шуму та демонструє мінімальні зміни з температурою. Цей природний ефект фільтрації призводить до високого співвідношення сигнал-до-шуму.
2. Структура резонатора з подвійним-затисканням гарантує, що коли резонатор вібрує, сумарна зовнішня сила дорівнює нулю. Крім того, завдяки використанню технології анодного з’єднання MEMS весь резонатор працює у вакуумному середовищі, що забезпечує високу якість.
3. Під час процесу проектування в термічно чутливих областях резонатора вбудовуються-структури для зняття напруги, щоб мінімізувати термічне напруження. Це істотно знижує теплове навантаження на резонатор.
Кремнієві резонансні датчики тиску Xi'an Mihui Technology забезпечують високо-точне вимірювання тиску з точністю 0,01% повної шкали у всьому діапазоні температур. Вони пропонують неперевершену річну стабільність 0,01% від повної шкали та підтримують вихід частоти та цифровий вихід RS485. Ці датчики вимірюють абсолютний тиск від 100 кПа до 1 МПа. Специфікації такі:
Зацікавлені сторони можуть зв’язатися з нами за допомогою інформації, наданої на нашому веб-сайті.
